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1. 功能与参数

流量单位与标定

质量流量计常用氮气 (N 2 ) 标定。

质量流量的单位规定为 : SCCM ( 标准毫升 / 分 ) ； SLM( 标准升 / 分 )

标准状态规定为 : 温度 T=273. 15K (0 ℃ ) ；压力 P= 101.325KPa (760mm Hg)

F.S. (Full Scale): 满量程值

适用介质参数

适用介 质 : 空气、氧气、氮气、氢气、氩气、氦气、 硅烷、氨气、三氯氧磷、三氟化氮，或其 他 气体

气体压力 : <1.6Mpa

气体温度 : -20~60 。 C ( 常温型 )

气体温度 : -120~200 。 C ( 耐温型 )

流量范围 : ( 1) 10, 30, 50, 100, 300, 500SCCM; (2) 1, 3, 5, 10, 30SLM; (3) 100, 300, 500, 1000 SLM

测量性能参数

耐压 : 1.6MPa

响应时间 : <20ms

精度 : ( 1) ± 1% F.S., (2) ± 2% F.S.

重复性 : <0.25% F.S.

灵敏度 : < 0. 1% F.S.

零漂 : < 0. 1% F.S.

压损 : 3kPa ( 满量程 )

漏率 : 1×10 -10 Pa•m 3 /sec He

质量流量计电气参数

电源 : DC24V

功耗 : <48 mW

连接 : 引线连接

通讯

模拟输出 : 4~20mA

数字输出 : Modbus RTU RS485

连接 : 引线连接